에프알디, 국내 최초 반도체 공정용 '초고순도 크립톤가스' 일본에 역 수출

서태영 기자 / 기사승인 : 2020-07-10 12:06:43
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국내 반도체 소재 업체로서는 처음, 초고순도 크립톤가스 일본 KIOXIA에 양산제품 출하
▲ 사진=박규홍 대표와 임직원들의 출하 기념 사진 [제공/에프알디]

 

국내 반도체 공정용 특수가스 전문기업인 에프알디가 9일 KIOXIA(舊,Toshiba Memory)에 고순도 크립톤(Kr) 양산제품 출하 한다고 밝혔다.

일본이 국내 반도체 공정용 특수가스를 규제하고 있는 상황에서, 국내 업체의 기술로 반도체 소재 업체로서는 처음으로 초고순도 크립톤(Kr)가스를 일본에 역 수출하는 결실을 맺게 되었다.

크립톤(Kr)은 제논(Xe)과 더불어 대기중 함유량이 0.00011%,(제논 0.000009%)에 불과한 희귀가스 중 하나이며, 분리·정제가 매우 까다로운 가스이다.

크립톤(Kr)과 제논(Xe)은 우주항공분야 등에서 핵심소재로 사용되어 왔으며,반도체 산업에서는 NAND FLASH Memory의 고집적화,초미세화에 따라 에칭공정에서 기존의 아르곤(Ar) 가스를 빠르게 대체하여 왔으며, NAND FLASH Memory의생산량이 증가함에 따라 빠른 속도로 수요가 증가하고 있는 핵심소재이다.

업체는 보도자료를 통해, 지난 3년여간 러시아,우크라이나 등을 수차례 오가며원자재 공급처 확보에 최선을 다하였으며, 반도체용 초고순도 Xenon, Krypton 정제시설 개발 및 양산시설 셋업과 품질관리 시스템, KIOXIA품질 AUDIT를 통과 하였으며, 반도체 NAND FLASH Etching 공정 Test도 완료되어, 일본 KIOXIA(舊,Toshiba Memory)에 양산제품을 출하 를 통해 결실을 맺게 되었다 과정을 설명 했다.

이에 에프알디 박규홍 대표는 “얼어붙은 경제상황 속에서 3년간의 준비기간을 통해 반도체 소재업체 중 크립톤(Kr) 가스를 일본 반도체 업체에 최초로 공급하는 쾌거를 이루어낸 전 직원의 노고에 감사한다” 며, “첫 양산출하를 시작으로 에프알디 가반도체, 우주항공 특수-희귀가스전문기업으로 한단계 더 도약할 수 있는 계기가 될 것이다. 2019년 일본의 대한민국 반도체의 디스플레이 핵심소재에 대한, 한국 수출 규제를 강화하며 양국간의 협력관계가 급격하게 얼어붙은 시점에 국내 반도체 소재업체로서는 처음으로 초고순도 크립톤 가스를 일본 반도체 업체에 공급하게 되었다는 점에서 큰 의미가 있다고 소감을 밝혔다.

에프알디는 대규모의크립톤과제논을 각각 정제할 수 있는설비와 초 고순도 품질관리 시스템을 보유하고 있으며, 고순도아산화질소(N2O)합성 및 정제 시설과 이산화탄소(CO2)정제설비를 보유하고 있다.

또한 정부과제를 통해 고순도삼불화붕소(BF3)를 이용한 디보란(B2H6) 합성 및 정제 공정을개발중이며,온난화 대체가스도 개발하고 있다.기술 개발완료 후기존 가스업체와의 협업을 통하여 기술이전이나 양산 협력모델도 가능할 것으로 내다보고 있다.

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